Title:

Ion source with radiofrequency mass filter for sputtering purposes

Creator:

Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Sowa, Marek (1944- ).

Subject:

fizyka

Description:

Tytuł nagłówkowy. ; Bibliografia na stronach 128-129. ; Streszczenie w języku polskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 45, 13 (1990), strony 123-129 ; tytul rownolegly: Źródło jonów z filtrem mas o częstości radiowej do rozpylania jonowego

Publisher:

UMCS

Place of publication:

Lublin

Contributor:

Sowa, Marek (1944- ).

Date:

1990

Type:

artykuł

Format:

application/pdf

Source:

Zasoby Biblioteki Głównej UMCS

Language:

eng

Relation:

Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 45, 13 (1990), strony 123-129

Rights:

domena publiczna

Source of sponsorship :

Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego