Tytuł:

Ion source with radiofrequency mass filter for sputtering purposes

Autor:

Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Sowa, Marek (1944- ).

Temat i słowa kluczowe:

fizyka

Opis:

Tytuł nagłówkowy. ; Bibliografia na stronach 128-129. ; Streszczenie w języku polskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 45, 13 (1990), strony 123-129 ; tytul rownolegly: Źródło jonów z filtrem mas o częstości radiowej do rozpylania jonowego

Wydawca:

UMCS

Miejsce wydania:

Lublin

Współtwórca:

Sowa, Marek (1944- ).

Data wydania:

1990

Typ zasobu:

artykuł

Format:

application/pdf

Źródło:

Zasoby Biblioteki Głównej UMCS

Język:

eng

Powiązania:

Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 45, 13 (1990), strony 123-129

Prawa:

domena publiczna

Źródło finansowania :

Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego