Tytuł:
Ion source with radiofrequency mass filter for sputtering purposes
Autor:
Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Sowa, Marek (1944- ).
Temat i słowa kluczowe:
Opis:
Tytuł nagłówkowy. ; Bibliografia na stronach 128-129. ; Streszczenie w języku polskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 45, 13 (1990), strony 123-129 ; tytul rownolegly: Źródło jonów z filtrem mas o częstości radiowej do rozpylania jonowego
Wydawca:
Miejsce wydania:
Współtwórca:
Data wydania:
Typ zasobu:
Format:
Źródło:
Zasoby Biblioteki Głównej UMCS
Język:
Powiązania:
Prawa:
Źródło finansowania :
Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego