Title:

Diffusion phosphorus and arsenic ions implanted into mono- and polycristalline-Si

Creator:

Youssef, Abdallah A. ; Sowa, Marek (1944- ). ; Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981).

Subject:

fizyka

Description:

Tytuł nagłówkowy. ; Bibliografia na stronie 60. ; Streszczenie w języku polskim, rosyjskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 36/37,4 (1981/1982), strony 51-61 ; tytul rownolegly: Dyfuzja jonów fosforu i arsenu implantowanych do mono- i polikrystalicznego krzemu ; tytul rownolegly: Diffuziâ ionov P i As implantirovannyh v mono- i polikristalličeskij kremnij

Publisher:

UMCS

Place of publication:

Lublin

Contributor:

Sowa, Marek (1944- ). ; Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981).

Date:

1981/1982

Type:

artykuł

Format:

application/pdf

Source:

Zasoby Biblioteki Głównej UMCS

Language:

eng

Relation:

Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 36/37,4 (1981/1982), strony 51-61

Rights:

domena publiczna

Source of sponsorship :

Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego