Title:

Pressure influence of some residual gases on the sputtering rate of Si

Creator:

Sowa, Marek (1944- ). ; Meldizon, Jerzy (1927- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981). ; Mazurek, Adam (chemik).

Subject:

fizyka

Description:

Tytuł nagłówkowy. ; Bibliografia na stronie 47. ; Streszczenie w języku polskim, rosyjskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 34/35, 6 (1979/1980), strony 41-48 ; tytul rownolegly: Wpływ ciśnienia resztkowych gazów na szybkość rozpylania krzemu ; tytul rownolegly: Vliânie davleniâ ostatočnyh gazov na skorostʹ raspyleniâ kremniâ

Publisher:

UMCS

Place of publication:

Lublin

Contributor:

Meldizon, Jerzy (1927- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981). ; Mazurek, Adam (chemik).

Date:

1979/1980

Type:

artykuł

Format:

application/pdf

Source:

Zasoby Biblioteki Głównej UMCS

Language:

eng

Relation:

Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 34/35, 6 (1979/1980), strony 41-48

Rights:

domena publiczna

Source of sponsorship :

Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego