Tytuł:
Zależność szybkości rozpylania jonowego Si, poli-Si i SiO2 od temperatury
Autor:
Sielanko, Juliusz (1938- ). ; Sowa, Marek (1944- ). ; Meldizon, Jerzy (1927- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981). ; Skrzypiec, Anna (fizyka).
Temat i słowa kluczowe:
Opis:
Tytuł nagłówkowy. ; We wzorze ditlenku krzemu liczba 2 w indeksie dolnym. ; Bibliografia na stronach 90-91. ; Streszczenie w języku angielskim, rosyjskim. ; artykul w: Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 33, 9 (1978), strony 87-91 ; tytul rownolegly: Zavisimostʹ skorosti raspyleniâ polikristallov Si, SiO2 i monokristalličeskogo Si ot temperatury ; tytul rownolegly: Temperature dependence of sputtering velocity of polycryetal Si and SiO2 as well as single crystal Si
Wydawca:
Miejsce wydania:
Współtwórca:
Sowa, Marek (1944- ). ; Meldizon, Jerzy (1927- ). ; Żuk, Włodzimierz (1916-1981). ; Skrzypiec, Anna (fizyka).
Data wydania:
Typ zasobu:
Format:
Źródło:
Zasoby Biblioteki Głównej UMCS
Język:
Powiązania:
Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AAA, Physica Vol. 33, 9 (1978), strony 87-91
Prawa:
Źródło finansowania :
Dofinansowano z programu "Społeczna odpowiedzialność nauki" Ministra Nauki i Szkolnictwa Wyższego